Durchflusssensor

Sensirion bringt neu einen Durchflusssensor für kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Fotolacke und Lösungsmittel für Flussraten unterhalb von 120 ml/min auf den Markt. Der auf Dosierungsanwendungen mit hohen Reinheitsanforderungen in der Halbleiter- und Solarindustrie zugeschnitte Sensor besticht durch schnelle Antwortzeiten von ~40 ms und hohe Sensitivität bis hinunter zu 3 ml/min. Zudem ermöglicht er die Erkennung von Luftblasen. Der Sensor misst mediengetrennt und ohne bewegte Teile durch die Wand eines geraden Flusskanals. Die Flüssigkeit kommt dabei ausschließlich mit Teflon und Quartzglas in Kontakt. Der Sensor ist mit Anschlüssen für 4x3mm Schläuche ausgestattet und verfügt über eine intelligente und robuste digitale RS485 Schnittstelle für lange Distanzen sowie hohe Buskapazität.