First Sensor gibt die erfolgreiche Qualifikation seiner hochgenauen kapazitiven Silizium-Inertialsensoren und den Start der Serienproduktion bekannt. Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren (HARMS, AIM) hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg bzw. 0,0005° (2 Bogensekunden) und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.
Optimierte Rauschdichte
Die hochgenaue Inertialsensoren bieten ausgezeichnete Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis. Die einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine hervorragende Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.
