Präziser Piezo-Würfel

Parallelkinematisches System für Stellwege bis 100 µm

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    Präziser Piezo-Würfel

Physik Instrumente stellt mit dem neuen NanoCube 616 ein System für die Präzisionspositionierung in drei Raumachsen vor. Der Stellweg in jede Richtung beträgt 100µm bei einer Auflösung von 0,3 nm. Bewegt werden können Lasten bis 50g, womit sich der NanoCube für einen Einsatz in der Präzisionsfertigung oder in Mikroskopie und Faserkopplung eignet.

Der P-616 hat eine Abmessung von nur 40 x 40 x 40 mm und ein Gewicht von 80 g. Der Stellweg beträgt in allen drei Raumachsen 100 µm mit einer Auflösung von 0,3 nm. Diese hohe Auflösung wird mittels kapazitiven Sensoren kontaktlos und direkt realisiert. Um die Leistungsmerkmale des NanoCube® zu erreichen, setzt PI auf ein parallelkinematisches Design aus drei hebelübersetzten PICMA® Aktoren und reibungsfreien Festkörpergelenken.

Das Antriebskonzept ermöglicht die kompakte Bauform und eine hohe Steifigkeit des Systems. Durch die Ausstattung mit einem ID-Chip werden alle Parameter und Informationen im System abgespeichert und sind jederzeit für die Elektronik auslesbar. Wird das System an eine neue Elektronik angeschlossen ist es sofort und ohne Kalibrierung verwendbar.

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