Der Wafer Mapping Sensor OHDM 16 ist ein optoelektronischer Sensor und wird zur seitlichen Detektion von Wafer-Kanten eingesetzt, besitzt eine große Reichweite von bis zu 133 mm und ein sehr robustes Metallgehäuse.
Der Reflexions-Lichttaster mit Hintergrundausblendung ist quaderförmig gebaut mit einer Seitenlänge von 50 mm und einem Durchmesser von 15,4 mm. Der Sensor besitzt eine Ansprechzeit von weniger als 5 ms und arbeitet mit einem Betriebsspannungsberich von 10 ... 30 VDC. Weiterhin erfüllt der OHDM 16 die Schutzart IP67 und kann bei Temperaturen zwischen -5 ... + 50 °C eingesetzt werden.
Der Wafer Mapping Sensor ist in zwei Ausführungen erhältlich, mit der Ausgangsschaltung NPN oder aber mit der Ausgangsschaltung PNP.
Wafer Mapping Sensor
WaferMappingSensoren besitzen große Reichweite, ermöglichen Unterdrückung der Wafermarkierung und Wafererfassung
- von Baumer GmbH
- August 1, 2009
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Wafer Mapping Sensor
