In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Metallisierung. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen übernehmen immer häufiger automatisierte Systeme den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten über lange Strecken. Zum Beispiel per Overhead Hoist Transport (OHT), ein Schienensystem, das die Kassetten unter der Decke bewegt. Das spart zwar Reinraumfläche, stellt Konstrukteure aber vor eine Herausforderung: die Versorgung des OHT mit Strom und Daten. „Stromschienen übertragen keine Daten und sind wartungsintensiv. Energieketten benötigen meist eine komplexe Absaugvorrichtung für Partikel. Der Bedarf an einer reinraumtauglichen, langlebigen und kostengünstigen Alternative ist in der Branche entsprechend groß“, erklärt Kira Weller, Produktmanagerin e-ketten und Reinraum-Expertin bei igus.
Rollen statt Gleiten
Um das Dilemma zu lösen, hat igus für die C6-Reinraumenergiekette ein besonderes Führungssystem namens e-spin entwickelt. Dabei handelt es sich um Führungsräder, die wie alle igus Energieketten aus tribologisch, sprich auf Reibung und Verschleiß, optimiertem Hochleistungskunststoff bestehen. Die Räder sitzen zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette. Die Kettenteile rollen dadurch aufeinander, statt zu gleiten – und das ohne weitere Partikelemission, eine Absaugeinheit wird nicht benötigt. Gleichzeitig ist das System aus C6-Energiekette und Führungsrädern durch den eingesetzten Hochleistungskunststoff abriebfest, wartungsarm und besonders langlebig. Labortests in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPA bestätigen: Das System erreicht bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m/s die höchste Reinraumklasse ISO 1.
